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                    立式氫氣爐技術參數表格
                    • 用途及特點
                    • 規格參數
                       產品應用
                       
                      本設備供光電成像器件中零部件、坡莫合金和各種電真空器件在真空中退火、焊接、除氣、及表面凈化處理用。
                           型號    
                            Mode    
                             技術參數  
                        Technical Data   
                      L1113Ⅱ-1 L1112Ⅱ-1(無油) L1122Ⅱ-1
                      ******加熱溫度(空爐 )Max.Heating Temperature(no-load) 1300℃ 1200℃ 2200℃
                      額定工作溫度
                      Rated Working Temperature
                      1200℃ 1100℃ 2100℃
                      加熱方式
                      Heating Mode
                      鎢桿組(一段加熱)Tungsten Rods 鎢桿組(一段加熱)Tungsten Rods 鉭皮
                      Tantalum sheet
                      爐溫均勻性
                      Furnace Temperature Uniformity
                      ±5℃ ±5℃ ±5℃
                      爐膛尺寸
                      Furnace Chamber Dimension
                      Φ200×300 mm Φ200×300 mm Φ75×200 mm
                      控溫精度
                      Temperature Control Precision
                      ±1℃ ±1℃ ±1℃
                      空載室溫到工作溫度時間
                      From Room Temperature to working temperature
                      < 40Min < 40Min < 40Min(2100℃)
                      真空系統
                      Vacuum System
                      擴散泵系統
                      Diffusion Pump System
                      分子泵系統
                      Turbo Pump System
                      分子泵系統
                      Turbo Pump System
                      極限真空(空爐)
                      Ultimate Pressure(no-load)
                      5×10-3Pa 7×10-4Pa 1.3×10-5Pa
                      工作真空度
                      Working Vacuum
                      5×10-2Pa 7×10-3Pa 5×10-4Pa
                      壓升率
                      Pressure Rise Rate
                      0.67 Pa/h 0.5 Pa/h 0.67 Pa/h
                      冷卻水壓
                      Cooling Water Pressure
                      0.2 M Pa~ 0.3 M Pa 0.2 M Pa~ 0.3 M Pa 0.2 M Pa~ 0.3 M Pa
                      總重量
                      Total Weight
                      1800Kg 1800 Kg 1800 Kg
                      設備總功率
                      Total Power
                      30 KW 22 KW 30 KW


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