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                    P系列真空排氣臺技術參數表格
                    • 用途及特點
                    • 規格參數
                      產品應用
                       
                      用于電真空器件,如磁控管、行波管、回旋管、調速管等真空排氣。

                       
                      主要結構與工作方式
                       
                      ●手工裝料
                      ●立式,單工位、多工位
                      ●主機與控柜一體或分開設置
                           型號    
                            Mode    
                             技術參數  
                        Technical Data   
                      P431-2 P436-1 P431-1 P432-1
                      主極限真空度
                      Ultimate Vacuum
                      ≤2×10-6Pa 10-6Pa ≤3×10-7Pa ≤3×10-8Pa
                      烘箱真空
                      Baking Chamber Vacuum
                      ≤1×10-1Pa 5 Pa 2 Pa 5 Pa
                      烘箱工作空間
                      Baking Chamber Dimension
                      Ф500×1200 mm Ф700×700 mm Ф460×500 mm Ф200×1200 mm
                      真空系統
                      Vacuum System
                      分子泵系統
                      Turbo Pump System
                      分子泵系統
                      Turbo Pump
                       System
                      離子泵系統
                      Ion Pump System
                      冷凝泵系統
                      Cryopump System
                       
                      ******溫度
                      Max.Temperature
                      650℃ 600℃ 600℃ 600℃
                      溫度均勻性(軸向)
                      Temperature Uniformity
                      ≤±5℃三點測溫
                      (3 point measurement)
                      ±10℃ ±5℃ ≤±5℃三點測溫
                      (3 point measurement)
                      抽氣速度
                      Pumping Speed
                      ≥450 L/S ≥450L/S ≥450L/S ≥450L/S
                      加熱功率
                      Heating Power
                      12 KW 18 KW(10可調,8固定)
                      (10 adjustable,8 fixed)
                      9 KW 10 KW
                      總功率
                      Total Power
                      15 KW 22 KW 13 KW 15 KW
                      加熱方式
                      Heating Mode
                      外加熱
                      Outside Heating
                      外加熱
                      Outside Heating
                      內加熱
                      Inside Heating
                      內加熱
                      Inside Heating


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